• Stepper (I-LINE)

    NSR-1755I7A

    Stepper (I-LINE)

    NSR-1755I7B

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2005I8A

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2005I9C

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2005I10C

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2205I11C

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2205I11D

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2205I12C

    Stepper (I-LINE)

    NSR-2205I14E

    Stepper (I-LINE)

    NSR-4425I

    Stepper (G-LINE)

    NSR-1505G6E

    Stepper (G-LINE)

    NSR-1505G7E

    Stepper (G-LINE)

    NSR-17555G7A

    Stepper (G-LINE)

    NSR-2005G8C

  • AMP

    cpcr-0101-nq1c

    照度计

    • i、G系设备;

    二次预对位组件

    • PRE2(通用);

    气柜

    • G6~i12全机型;

    电路板

    • 4S015-024-1;
    • 4S010-002-1;
    • 4S007-432-1(FC2);
    • 4S017-371( wl背板);
    • STG62;
    • 4S007-255-1(WL-2);
    • 4S007-564-1(WL-5);
    • 4S015-001-1(SP);
    • 4S017-237(EPDRV2);
    • 4S017-107(WL101);
    • 其他全品类...

    电机

    • RA马达14:1 2842S012C;
    • 5.44:1排线(四线);
    • 3.1:1排线(四线);
    • 54.6:1排线;
    • ETC-266206-300/3CH;
    • ETC-266206-200/3CH;
    • 173:1(两线);
    • 28HL2R(bellows);
    • 其他..

    手臂

    • Fetch;
    • loader/unloader;
    • wait;
    • Slider;
    • OF;
    • notch45°改造;
    • 其他..

    组件

    • STG θ;
    • STG Z;
    • Reticle STG X、Y、θ;
    • halving;
    • Zθ;
    • CT组件;
    • 其他..

    掩膜版

    • R2205HA VER 6.58
    • R2205HA VER.7.01
    • R2005A VER.6.31
    • R2205HB VER.7.01;
    • R2205HMF VER 5.09;
    • R2205HDIS VER.2.87;
    • R2205HCD VER;
    • 其他..

    bellows

    • 9、10、11、12机型用;
    • TB-5002(6、7、8机型)
    • 其他..

    工控机

    • PDP-MCS2;
    • VAX-4000.96;
    • 其他...

    电源箱

    • MCSⅡ;
    • MCSⅤ;
    • 其他..

    更多

    • 其他..